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华海清科(北京)科技取得夹持机构以及晶圆清

发布日期:2025-12-07 21:59 点击:

  国度学问产权局消息显示,授权通知布告号CN223612410U,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本发现公开了一种夹持机构以及晶圆清洗安拆,夹持机构包罗多个用于夹持晶圆的夹持组件,所述夹持组件包罗驱动部以及夹持部,所述夹持部设置于支持台上,驱动部位于夹持手下方用于驱动夹持部的夹爪摆动;多个所述夹持组件正在支持台的周向上平均分布,多个夹持组件两两相对设置构成多个夹持组;多个夹持组存正在至多两个夹爪摆角范畴。对机械手横向行程误差的度显著提高,从而可以或许更好地顺应现实操做中的误差,确保了夹持过程的顺畅性,提拔了功课效率。华海清科(北京)科技无限公司,成立于2019年,位于北京市,是一家以处置科技推广和使用办事业为从的企业。企业注册本钱15000万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,华海清科(北京)科技无限公司参取招投标项目77次,专利消息113条,此外企业还具有行政许可9个。

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